เครื่องขัดเงาแบบกลไก MP Series
เครื่องขัดเงาแบบกลไก LSTD MP series ได้รับการพัฒนาขึ้นเพื่อตอบสนองความต้องการในการขัดเงาวัสดุแข็งพิเศษอย่างรวดเร็ว อุปกรณ์นี้ใช้แผ่นโลหะอ่อนหรือแผ่นคอมโพสิตและสารละลายเพชรที่มีขนาดอนุภาคเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้ชิ้นงานที่ผ่านการประมวลผลเข้าถึงพื้นผิวกระจกได้อย่างรวดเร็ว ข้อดีที่สำคัญอีกประการหนึ่งของการขัดเงาเชิงกลคือ ภายใต้สมมติฐานของการควบคุมรูปร่างแผ่นที่ดี จะทำให้ได้พื้นผิวชิ้นงานที่เรียบมากโดยแทบไม่มีการยุบตัวของขอบ สำหรับชิ้นงาน (เวเฟอร์) ที่มีการใช้งานแบบ epitaxis หลังจากการขัดด้วยกลไก ระยะเวลากระบวนการของการขัดด้วยเครื่องจักรด้วยเคมีจะลดลงอย่างมาก และลดต้นทุนได้ เครื่องขัดเชิงกลด้วยเคมีซีรีส์ MP สามารถใช้สำหรับการขัดเชิงกลของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแข็งพิเศษต่างๆ เช่น แซฟไฟร์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ และเพชร รวมถึงการขัดวัสดุที่มีความแข็งพิเศษอื่นๆ เช่น เซรามิก ซีเมนต์คาร์ไบด์ และเหล็กชุบแข็ง
เช่นเดียวกับเครื่องขัดเคมีเชิงกลซีรีส์ CP:
เครื่องขัดเงาเชิงกลซีรีส์ MP ยังแบ่งออกเป็นสามรุ่นเดียวกัน: ประเภทพื้นฐาน ประเภทขับเคลื่อนด้วยดิสก์แรงดัน (ประเภทซีดี) และประเภทขับเคลื่อนด้วยแผ่นแรงดันอิสระ (ประเภท IDP) (ดูหน้า 4 ; เครื่องขัดเชิงกลซีรีส์ MP มีโครงสร้างคล้ายกับ CP เครื่องขัดเชิงกลแบบเคมีซีรีส์ แต่เพื่อตอบสนองความต้องการของการขัดแบบกลไก เครื่องขัดแบบกลไก MP ซีรีส์จึงติดตั้งระบบเปลี่ยนแผ่นขัดเพื่อเซาะแผ่น
เครื่องขัดเงาแบบกลไก IDP:
เครื่องขัดเงาเชิงกลประเภท IDP ยังสามารถปรับปรุงความแม่นยำในการขัดเงาเชิงกลได้อีก โดยบูรณาการฟังก์ชันการแกว่งของแผ่นดัน เพื่อแก้ปัญหาการเสียรูปการขยายตัวและการลดความแข็งของแผ่นขัดที่เกิดจากความร้อนที่เกิดจากการขัดเชิงกล LSTD ได้พัฒนาเทคโนโลยีใหม่และประยุกต์ใช้สิทธิบัตรซึ่งสามารถควบคุมอุณหภูมิพื้นผิวของแผ่น รูปร่างของแผ่น และความแข็งของแผ่นได้อย่างมีประสิทธิภาพ สำหรับการขัดเชิงกลของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ เพชร และเวเฟอร์อื่นๆ เทคโนโลยีนี้สามารถแก้ปัญหาประสิทธิภาพและความแม่นยำของการขัดเชิงกลได้อย่างมีประสิทธิภาพ
เครื่องขัดเงาแบบกลไก BASIC TYPE MP ซีรีส์
ประเภทและข้อมูลจำเพาะ | ส.ส.-380B(V*) | ส.ส.-460B(V) | ส.ส.-610B(V) | ส.ส.-810B(V) | ส.ส.-910B(V) | ส.ส.-1280B(V) | ส.ส.-1500B(V) |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นขัด | 381มม | 460มม | 598มม | 796มม | 898มม | 1262มม | 1480มม |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นดัน | 139มม | 150มม | 240มม | 304.8มม | 360 มม./355 มม | 485มม | 576มม |
จำนวนแผ่นดัน | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
แผ่นขัด RPM | 10~160 รอบต่อนาที | 10~160 รอบต่อนาที | 10~115 รอบต่อนาที | 10~87 รอบต่อนาที | 10-80 รอบต่อนาที | 10~64 รอบต่อนาที | 10-54 รอบต่อนาที |
แรงดันขัด (สูงสุด) | 100กก | 100กก | 140กก | 250กก | 320กก | 560กก | 760กก |
กำลังมอเตอร์ | 0.75kw | 1.5kw | 3กิโลวัตต์ | 5.5KW | 11กิโลวัตต์ | 22กิโลวัตต์ | 35กิโลวัตต์ |
แหล่งจ่ายไฟ | 3PH,380V,50Hz | ||||||
มิติ | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
น้ำหนัก (ประมาณ..) | 420กก | 720กก | 1,080กก | 2200กก | 2400กก | 7300กก | 9500กก |
ความจุในการโหลดเวเฟอร์ | 2"-4 ชิ้น/หัว 2"-3 ชิ้น/หัว(V) | 2"-5 ชิ้น/หัว 2"-4 ชิ้น/หัว(V) | 2"-10 ชิ้น/หัว 4"-3 ชิ้น/หัว | 2"-14 ชิ้น/หัว 4"-5 ชิ้น/หัว 5"-3 ชิ้น/หัว | 4"-7 ชิ้น/หัว 5"-5 ชิ้น/หัว 6"-3 ชิ้น/หัว | 5"-8 ชิ้น/หัว 6"-6 ชิ้น/หัว 8"-3 ชิ้น/หัว | 6"-8 ชิ้น/หัว 8"-5 ชิ้น/หัว |
เครื่องขัดเงาแบบกลไก CD TYPE MP ซีรีส์
ประเภทและข้อมูลจำเพาะ | ส.ส.-380B-CD | ส.ส.-460B-CD | ส.ส.-610B-CD | ส.ส.-810B-CD |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นขัด | 381มม | 460มม | 598มม | 796มม |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นดัน | 139มม | 150มม | 240มม | 304.8มม |
จำนวนแผ่นดัน | 3 | 4 | 4 | 4 |
แผ่นขัด RPM | 10~160 รอบต่อนาที | 10~160 รอบต่อนาที | 10~115 รอบต่อนาที | 10~87 รอบต่อนาที |
แรงดันขัด (สูงสุด) | 100กก | 100กก | 140กก | 250กก |
กำลังมอเตอร์ขับเคลื่อนจากศูนย์กลาง | 400W | 750KW | 1KW | 1.5KW |
กำลังมอเตอร์หลัก | 0.75kw | 1.5KW | 3กิโลวัตต์ | 5.5KW |
แหล่งจ่ายไฟ | 3PH,380V,50Hz | |||
มิติ | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H |
น้ำหนัก (ประมาณ..) | 420กก | 720กก | 1,080กก | 2200กก |
ความจุในการโหลดเวเฟอร์ | 2"-4 ชิ้น/หัว | 2"-5 ชิ้น/หัว | 2"-10 ชิ้น/หัว 4"-3 ชิ้น/หัว | 2"-14 ชิ้น/หัว 4"-5 ชิ้น/หัว 5"-3 ชิ้น/หัว |
ประเภทและข้อมูลจำเพาะ | ส.ส.-910B-CD | ส.ส.-1280B-CD | ส.ส.-1500B-CD |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นขัด | 898มม | 1262มม | 1480มม |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นดัน | 360 มม. / 355 มม | 485มม | 576มม |
จำนวนแผ่นดัน | 4 | 4 | 4 |
แผ่นขัด RPM | 10-80 รอบต่อนาที | 10~64 รอบต่อนาที | 10-54 รอบต่อนาที |
แรงดันขัด (สูงสุด) | 320กก | 560กก | 760กก |
กำลังมอเตอร์ขับเคลื่อนจากศูนย์กลาง | 2KW | 3.5KW | 5.5KW |
กำลังมอเตอร์หลัก | 11กิโลวัตต์ | 22กิโลวัตต์ | 35กิโลวัตต์ |
แหล่งจ่ายไฟ | 3PH,380V,50Hz | ||
มิติ | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
น้ำหนัก (ประมาณ..) | 2400กก | 7300กก | 9500กก |
ความจุในการโหลดเวเฟอร์ | 4"-7 ชิ้น/หัว 5"-5 ชิ้น/หัว 6"-3 ชิ้น/หัว | 5"-8 ชิ้น/หัว 6"-6 ชิ้น/หัว 8"-3 ชิ้น/หัว | 6"-8 ชิ้น/หัว 8"5ชิ้น/หัว |
เครื่องขัดเงาแบบกลไก IDP TYPE MP ซีรีส์
ประเภทและข้อมูลจำเพาะ | ส.ส.-380B-IDP | ส.ส.-460B-IDP | ส.ส.-610B-IDP | ส.ส.-810B-IDP |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นขัด | 381มม | 460มม | 598มม | 796มม |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นดัน | 139มม | 150มม | 240มม | 304.8มม |
จำนวนแผ่นดัน | 3 | 3 | 4 | 4 |
แผ่นขัด RPM | 10~160 รอบต่อนาที | 10~160 รอบต่อนาที | 10~115 รอบต่อนาที | 10~87 รอบต่อนาที |
แรงดันขัด (สูงสุด) | 100กก | 100กก | 140กก | 250กก |
แผ่นดันขับเคลื่อนด้วยกำลังมอเตอร์ | 200W | 200W | 400KW | 400KW |
ความเร็วในการหมุนของแผ่นดัน | 0~200 รอบต่อนาที | 0~200 รอบต่อนาที | 0~100 รอบต่อนาที | 0~100 รอบต่อนาที |
กำลังมอเตอร์หลัก | 0.75kw | 1.5kw | 3กิโลวัตต์ | 5.5KW |
แหล่งจ่ายไฟ | 3PH,380V,50Hz | |||
มิติ | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
น้ำหนัก (ประมาณ..) | 350กก | 350กก | 980กก | 1800กก |
ความจุในการโหลดเวเฟอร์ | 2"-4 ชิ้น/หัว | 2"-4 ชิ้น/หัว | 2"-10 ชิ้น/หัว 4"-3 ชิ้น/หัว | 2"-14 ชิ้น/หัว 4"-5 ชิ้น/หัว 5"-3 ชิ้น/หัว |
ประเภทและข้อมูลจำเพาะ | ส.ส.-910B-IDP | ส.ส.-1280B-IDP | ส.ส.-1500B-IDP |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นขัด | 898มม | 1262มม | 1480มม |
เส้นผ่านศูนย์กลางแผ่นดัน | 360 มม. / 355 มม | 485มม | 576มม |
จำนวนแผ่นดัน | 4 | 4 | 4 |
แผ่นขัด RPM | 10-80 รอบต่อนาที | 10~64 รอบต่อนาที | 10-54 รอบต่อนาที |
แรงดันขัด (สูงสุด) | 320กก | 560กก | 760กก |
แผ่นดันขับเคลื่อนด้วยกำลังมอเตอร์ | 2KW | 1KW | 1.3KW |
ความเร็วในการหมุนของแผ่นดัน | 2KW | 0~100 รอบต่อนาที | 0~100 รอบต่อนาที |
กำลังมอเตอร์หลัก | 11กิโลวัตต์ | 22กิโลวัตต์ | 35กิโลวัตต์ |
แหล่งจ่ายไฟ | 3PH,380V,50Hz | ||
มิติ | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
น้ำหนัก (ประมาณ..) | 2200กก | 7000กก | 8600กก |
ความจุในการโหลดเวเฟอร์ | 4"-7 ชิ้น/หัว 5"-5 ชิ้น/หัว 6"-3 ชิ้น/หัว | 5"-8 ชิ้น/หัว 6"-6 ชิ้น/หัว 8"-3 ชิ้น/หัว | 6"-8 ชิ้น/หัว 8"5ชิ้น/หัว |
ป้ายกำกับยอดนิยม: เครื่องขัดเงาเชิงกล mp series ผู้ผลิตเครื่องขัดเงาเชิงกล mp series ซัพพลายเออร์ โรงงาน
คู่ของ
ไม่ใช่ถัดไป
ไม่ใช่คุณอาจชอบ
ส่งคำถาม