เกจวัดความหนาเวเฟอร์

เครื่องมือวัดความหนาของเวเฟอร์ WTM-576B ใช้ในการวัดความหนาของเวเฟอร์ก่อนหรือหลังการเอาแว็กซ์ออก เนื่องจากความเรียบของพื้นผิวเซรามิกน้อยกว่า 1um จึงสามารถใช้เป็นข้อมูลอ้างอิงที่ดีในการวัดเวเฟอร์เดี่ยวได้ WTM-576B มีเฟรมอีกชุดหนึ่งสำหรับการวัดแบบจุดต่อจุด ซึ่งสามารถใช้สำหรับการวัดเวเฟอร์ TTV พื้นผิวขัดเงาของซับสเตรตเซรามิกของเครื่องมือวัดช่วยให้เวเฟอร์หรือแผ่นเซรามิกเคลื่อนที่ได้อย่างราบรื่นบนพื้นผิวโดยไม่ทำให้เกิดรอยขีดข่วนที่ด้านหลังของเวเฟอร์ ในขณะเดียวกัน ความเสถียรและความต้านทานการสึกหรอของซับสเตรตเซรามิกทำให้มีความเสถียรและเชื่อถือได้เป็นเวลานาน แม้แต่ในการวัดวัสดุที่มีความแข็งเป็นพิเศษ เช่น แซฟไฟร์และเวเฟอร์ SiC

การวัดเวเฟอร์บนแผ่นเซรามิก

การวัดเวเฟอร์เดี่ยว

เกจวัดความหนาแผ่นเวเฟอร์สัมผัสจุด

เกจวัดความหนาของเวเฟอร์แบบสัมผัสจุดใช้สำหรับการวัดความหนาของเวเฟอร์ การสัมผัสแบบจุดต่อจุดของเวเฟอร์ทำให้ผลการวัดมีความแม่นยำมากขึ้น เนื่องจากหลีกเลี่ยงข้อผิดพลาดในการวัดที่เกิดจากการสัมผัสพื้นผิวของเวเฟอร์กับโต๊ะวัดหรือหัววัด เพื่อปกป้องแผ่นเวเฟอร์จากรอยขีดข่วนหรือการปนเปื้อนไอออนของโลหะที่เกิดขึ้นระหว่างการวัด ส่วนที่สัมผัสของเวเฟอร์ทั้งหมดจะทำโดยการแอบดู

TG-เครื่องวัดความหนาแผ่นเวเฟอร์สามฟุต

เกจวัดความหนาเวเฟอร์ ซีรีส์ TG ใช้สำหรับการวัดความหนาของเวเฟอร์ที่ติดบนแผ่นเซรามิก ซึ่งมีน้ำหนักเบา มีเสถียรภาพ และใช้งานง่าย มีเกจ TG สำหรับการวัดเวเฟอร์ขนาดต่างๆ

ป้ายกำกับยอดนิยม: เกจวัดความหนาเวเฟอร์ ผู้ผลิตเกจวัดความหนาเวเฟอร์ ซัพพลายเออร์ โรงงาน